寻源宝典EDS对亚微米颗粒成分分析的精度如何保证
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深圳市谱赛斯科技有限公司
深圳市谱赛斯科技，2014年成立于深圳宝安区，主营镀层测厚仪等仪器，专业检测维修，经验丰富，权威可靠。
介绍：
阐明EDS检测100nm级颗粒元素组成的技术条件，包括束斑尺寸优化、样品制备要求及探测器选型。量化轻元素（B/C/O）检测误差，提供硅漂移探测器（SDD）的关键参数指标，EDS分析纳米颗粒需满足三要素
> EDS分析纳米颗粒需满足三要素：
> **① 束斑尺寸**：场发射SEM束斑＜3nm（如日立SU9000），确保电子束不覆盖相邻颗粒；
> **② 样品制备**：碳导电胶固定颗粒，表面起伏＜200nm，减少信号散射；
> **③ 探测器性能**：采用大面积SDD（如牛津X-MaxN 150mm²），计数率＞150k cps，活时间＞95%。
> 在100nm金颗粒标样测试中，Au元素定量误差＜2%，轻元素需薄窗探测器（如Super-ATW2），O元素检测限达0.5wt%。实际案例：分析50nm氧化铝颗粒，Al/O原子比误差＜5%，但＜30nm颗粒因信号不足需STEM-EDS联用。
