寻源宝典如何根据需求选择合适量程和精度的测厚仪
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深圳市谱赛斯科技有限公司
深圳市谱赛斯科技,2014年成立于深圳宝安区,主营镀层测厚仪等仪器,专业检测维修,经验丰富,权威可靠。
介绍:
量程选择:测量值宜在量程 20%-80%,如 50-100μm 应选 125-200μm 量程。量程过大,测小厚度时相对误差剧增(如 1000μm 量程测 50μm,误差 ±1μm 变 ±5μm);量程过小,无法测超范围厚度,还会损坏仪器。
量程选择:要使测量值处于量程的 20%-80% 为宜。比如预计测量厚度在 50-100μm,就应选择量程为 125-200μm 的测厚仪。若量程过大,在测量较小厚度时,相对误差会显著增大,如 1000μm 量程的测厚仪,测量 50μm 厚度,误差可能从 ±1μm 变为 ±5μm;量程过小,则无法测量超出范围的厚度,损坏测厚仪。
精度选择:依据实际需求确定精度。工业生产中,一般涂层厚度检测精度要求 ±1%-±3% FS 即可,如汽车涂装车间对涂层厚度精度要求在 ±2% FS;而半导体芯片制造中,对薄膜厚度精度要求极高,可达 ±0.1% FS 甚至更高,如光刻胶薄膜厚度测量。精度不匹配时,精度过低无法满足产品质量控制需求,如高端光学镜片镀膜厚度控制;精度过高则成本大幅增加,且对测量环境要求严苛,如普通建筑墙面涂层测量,无需高精度测厚仪。

