轮廓度测量仪的测量精度能达到多少

山东中科普锐检测技术有限公司

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2026-05-26 08:00:00

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法人:尹建华通过深度核验

山东中科普锐检测技术有限公司，2013年成立于潍坊高新区，专业提供粗糙度仪等精密测量仪器，技术权威，经验丰富。

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介绍：

轮廓度测量仪的测量精度因型号和品牌而异，一般可达微米级甚至纳米级。例如，部分型号X轴和Z轴线性精度为±(0.8+L/100)μm（L为测量长度），分辨率最高0.1nm，系统残差小于3nm，重复测量精度达0.1μm。

轮廓度测量仪的测量精度因仪器型号和品牌而异，通常可达到微米级甚至纳米级。如中图仪器SJ5800分辨率可达0.1nm，系统残差小于3nm。英示SPM-6000的X轴和Z轴线性精度为±(0.8+L/100 )μm（L为测量长度）。光图智能GTS系列X轴分辨率最高可达8μm，Z轴重复测量精度最高可达0.1μm。

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山东中科普锐检测技术有限公司，2013年成立于潍坊高新区，专业提供粗糙度仪等精密测量仪器，技术权威，经验丰富。

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