寻源宝典常见漏率单位之间的换算关系
合肥迪泰真空技术,2011年成立于合肥蜀山区,专营氦检漏等真空设备,研发生产销售一体,技术权威,经验丰富。
在检测漏率时,常常显示的漏率值的单位和我们需要的不一致,这时就需要利用各单位之间的关系来换算,从而得到我们想要的数值数据。通过漏率换算表,我们可以很快速的换算。例如:1 mbar·L/s = 0.1 Pa·m³/s
一.、基本单位关系
国际单位制(SI):
帕斯卡·立方米/秒(Pa·m³/s)
1 Pa·m³/s = 1 N·m/s = 1 W(瓦特,从能量角度)。
其他常用单位:
毫巴·升/秒(mbar·L/s)
1 mbar·L/s = 0.1 Pa·m³/s (因为 1 mbar = 100 Pa,1 L = 0.001 m³)。
托·升/秒(Torr·L/s)
1 Torr·L/s ≈ 0.133 Pa·m³/s (因为 1 Torr ≈ 133.322 Pa)。
标准立方厘米/秒(std cm³/s 或 sccm)
1 sccm = 1 atm·cm³/min ≈ 1.688 × 10⁻⁴ Pa·m³/s (基于标准大气压 1 atm = 101325 Pa)。
二.、其他单位
大气压·立方厘米/秒(atm·cm³/s)
1 atm·cm³/s = 101.325 Pa·m³/s = 1013.25 mbar·L/s。
微米汞柱·升/秒(µmHg·L/s)
1 µmHg·L/s = 0.133 mPa·m³/s (1 µmHg = 0.133 Pa)。
三、 实用场景
真空技术:常用 Pa·m³/s 或 mbar·L/s。
半导体/检漏:常用 sccm 或 Torr·L/s。
极微小漏率:可能用 毫秒ccm(msccm) 或 微帕·立方米/秒(µPa·m³/s)。

