寻源宝典干涉仪波段探秘
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深圳市中图仪器股份有限公司
深圳市中图仪器,2005年成立于南山,专业研发生产全尺寸链精密测量仪器,产品多样,经验丰富,行业权威。
介绍:
本文揭秘干涉仪的工作波段,重点解析Zygo干涉仪的典型波段范围,并探讨不同波段在精密测量中的应用特点,帮助读者理解干涉仪的光学性能选择。
一、干涉仪波段的基本概念
干涉仪像一位精准的光学裁缝,通过测量光波的干涉条纹来获取微小尺寸变化。它的工作波段决定了这把'尺子'的测量范围:
可见光波段(400-700nm):适用于常规表面形貌测量
近红外波段(700-1100nm):穿透性较好,适合某些特殊材料
紫外波段(200-400nm):用于更高分辨率的微观测量
二、Zygo干涉仪的波段特点
作为行业代表,Zygo干涉仪常采用这些波段组合:
标准配置:632.8nm氦氖激光波段,稳定性出色
多波长模式:可选532nm/1064nm组合,解决相位模糊问题
扩展波段:部分型号支持从紫外到近红外的宽谱测量
三、波段选择的实用考量
选择波段就像挑选合适的放大镜,需要权衡三个关键因素:
材料特性:金属适合长波段,半导体可能需要短波段
测量精度:更短波长意味着更高理论分辨能力
环境适应性:红外波段在振动环境中表现更稳定
店内备有新型激光干涉测量系统,支持50kHz高速采样,80米内线性测量误差仅0.5ppm,角度测量范围±10°,1nm分辨力配合0.05ppm稳频精度,满足各类精密检测场景需求。
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