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轮廓仪的校准方法

山东中科普锐检测技术有限公司
法人:尹建华通过深度核验

山东中科普锐检测技术有限公司,2013年成立于潍坊高新区,专业提供粗糙度仪等精密测量仪器,技术权威,经验丰富。

介绍:

轮廓仪校准方法如下: 首先,用标准量块校准长度测量,将量块置于测量区域,对比测量值与量块标称值调整。其次,用已知粗糙度的标准样板校准粗糙度测量,使测量结果接近样板标定值。再者,检查探针位置精度,通过特定校准程序修正偏差,确保测量准确性 。

轮廓仪的校准方法主要包括以下步骤:

1.静态测量力校准:使用测力装置而非电子天平,避免重力加速度转换误差,确保静态测量力精度。

2.X轴示值误差校准:采用激光干涉仪作为基准,调整光束与轮廓仪导轨平行,在X轴测量范围内选取均匀分布的5个点,对比轮廓仪与激光干涉仪示值差异,取最大绝对值作为误差。

3.Z轴示值误差校准:使用量块和平面平晶,调整工作台与驱动箱平行后,依次测量不同尺寸量块的Z轴示值,通过多次抬针取平均值与量块实际值之差计算误差。

4.台阶高度示值误差校准:通过研合量块形成台阶,倾斜平面平晶后测量台阶高度,重复三次取平均值与实际值之差,以最大绝对值为误差。

5.系统标定(针对3D轮廓仪):分直线、静态、动态标定三种模式,矫正X/Y/Z方向安装误差,提升测量绝对精度,需使用专用标定块或高差物体。

校准需在标准环境(温度20±3,湿度≤65%)下进行,校准周期一般不超过1年。

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