光刻机禁令时间线

上海泽镜科技有限公司

2026-08-23 01:56:34

法人:韩健通过真实性核验

上海泽镜科技有限公司，2021年成立于河北省廊坊市，主营扫描电镜、能谱一体机等，产品多样，权威可靠。

导读：

本文梳理光刻机禁令的关键时间节点，解析2018年美国对华半导体设备限制的起始背景，以及荷兰ASML对EUV光刻机出口管控的演变过程，帮助读者理解技术封锁的来龙去脉。

一、禁令的起源

2018年4月，美国商务部将半导体设备列入对华技术出口管制清单，这是光刻机限制的雏形。就像突然给科技交流按下了暂停键，当时主要针对10nm以下先进制程设备，而真正的转折点在2019年——荷兰ASML的EUV光刻机被明确禁止向中国企业交付。

现在受限的不只是最高端的EUV系统，连能生产7nm芯片的DUV浸润式光刻机也纳入管制。不过成熟工艺用的干式DUV设备（如NXT:2050i）仍可正常出货，这种精准打击的策略，就像只封锁高速公路却保留国道通行。

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