光刻机到中国了么

上海泽镜科技有限公司

2026-08-23 01:56:30

法人:韩健通过真实性核验

上海泽镜科技有限公司，2021年成立于河北省廊坊市，主营扫描电镜、能谱一体机等，产品多样，权威可靠。

导读：

本文探讨光刻机技术在中国的发展现状，分析当前进口与自主研发的双轨进展，并展望未来半导体设备国产化的可能性与挑战。

一、光刻机进口的现状

目前部分型号的光刻机已通过合规渠道进入中国，主要用于成熟制程芯片生产。但高端EUV光刻机仍受国际协议限制，其运输需经过多国审批。2023年数据显示，中国晶圆厂采购的深紫外（DUV）光刻机数量占全球新装机量的29%。

国内多个科研团队在光刻机关键技术领域取得进展：

实现完全自主可控仍需克服三大难关：

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