硼化铝射频溅射可以吗

苏州铂瑞电极工业有限公司

2026-07-13 15:51:21

苏州铂瑞电极工业有限公司

法人:顾振华通过真实性核验

苏州铂瑞电极工业有限公司，2008年成立于江苏省苏州市，主营辅助钛、钛阳极等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文探讨硼化铝材料是否适用于射频溅射工艺，分析其物理特性与溅射适配性，并对比常见溅射材料的性能差异，为工业镀膜提供参考方案。

一、硼化铝的射频溅射适配性

硼化铝（AlB₂）这种黑灰色晶体最近在镀膜圈悄悄走红——它像瑞士军刀一样兼具高熔点（约2200℃）和良好导电性，理论上完全能承受射频溅射的高能等离子体冲击。实验室数据显示：

但要注意它的脆性特质，靶材制备时需采用热压烧结工艺避免开裂。

当把硼化铝放在溅射材料的「选秀舞台」上，会发现这些有趣特点：

想用好这颗「镀膜新星」，记住三个黄金法则：

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