离子注入机中PFG的Xe气作用

东莞市方致微新材料科技有限公司

2026-08-12 14:10:23

法人:司连英通过真实性核验

东莞市方致微，位于广东东莞常平镇，2023年成立，专营陶瓷等精密加工，经验丰富，在多领域应用权威专业。

导读：

本文揭秘离子注入机PFG系统中氙气的三大核心功能：作为等离子体源气体增强电离效率，通过惰性保护延长部件寿命，以及优化束流均匀性提升芯片制造精度。

一、PFG系统与Xe气的化学邂逅

离子注入机的等离子体聚焦栅（PFG）像是半导体制造的'离子厨师'，而氙气（Xe）就是它的秘密调料。这种惰性气体在真空腔体内扮演三重角色：

当其他气体可能在高温下'捣乱'时，Xe气就像忠诚的卫士：

除了基础功能，Xe气还有些令人惊喜的'副业'：

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