溅射镀膜辉光不溅射原因

石家庄东铭新材科技有限公司

2026-07-10 22:31:16

石家庄东铭新材科技有限公司

法人:赵鹏通过真实性核验

石家庄东铭新材科技有限公司位于石家庄高新区裕华东路，专注靶材、颗粒、粉末等新型材料研发与销售，服务电子、光学等高精领域，2018年成立以来以技术领先、原厂直供为核心优势，进出口业务覆盖全球，专业权威。

介绍：

本文解析溅射镀膜过程中出现辉光但不发生溅射的常见原因，包括真空度不足、靶材污染、磁场异常等问题，并提供相应的解决思路，帮助读者快速定位故障源头。

一、真空度不足：看不见的隐形门槛

辉光放电就像一场精密舞会，真空度就是入场券。当腔体压力高于0.5Pa时：

那块看似完好的靶材可能正在'罢工'：

磁控溅射中磁场紊乱就像指南针失灵：

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