中国首台压米光刻机

深圳市科时达电子科技有限公司

2026-07-10 20:35:37

深圳市科时达电子科技有限公司

法人:廖晓兰通过真实性核验

深圳市科时达电子科技有限公司成立于2021年，坐落于深圳市光明区，专注于半导体及光电设备领域，主营光刻机、镀膜机、晶圆检测仪器等高端设备，产品覆盖半导体制造、光伏检测全流程。公司集研发、销售、技术服务为一体，具备医疗器械及进出口资质，以精密仪器技术和专业解决方案服务于高科技产业。

介绍：

本文解析中国自主研发的首台压米光刻机的技术突破与核心价值，从原理创新到应用前景，展现其在半导体领域的重要里程碑意义。

一、压米光刻机的技术突破

压米光刻机作为半导体制造的核心设备，其精度直接影响芯片性能。中国首台自主研发的压米级光刻机采用新型光源系统和物镜组设计，通过多重曝光技术实现纳米级图案转移。其核心在于将传统光学原理与机械精密控制结合，在晶圆表面形成高分辨率电路图案。

不同于极紫外光刻技术，压米光刻机通过优化深紫外线（DUV）路径实现成本控制：

该设备的问世标志着半导体设备国产化取得阶段性成果：

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