南大光电产品有哪些

一、高纯电子特气矩阵

在半导体制造的精密舞台上，南大光电的特气产品就像魔术师的隐形道具：

• 砷烷/磷烷：芯片掺杂工艺的"调味师"，纯度达99.9999%

• 三氟化氮：液晶面板清洗专家，蚀刻残留物克星

• 六氟化钨：3D NAND堆叠的"建筑胶水"，实现128层存储的关键

这些特气产品已通过台积电、三星等头部厂商认证，在28nm以下制程中稳定服役。

二、前驱体材料的魔法

芯片微观世界的"乐高积木"就藏在这里：

1. TDMAT：原子层沉积(ALD)的明星材料，打造纳米级薄膜

2. TEMAZ：高k栅极介质的核心原料，提升晶体管开关速度

3. DIPAS：存储芯片电容材料的秘密武器，缩小单元面积30%

这些材料正在助力5nm以下制程突破物理极限。

三、光刻胶的技术突围

在芯片"纹身"工艺中打破国外垄断：

• ArF光刻胶：支持193nm短波长曝光，分辨率达14nm节点

• EUV配套试剂：极紫外光刻的显影液/去胶剂组合

• KrF厚胶： MEMS传感器制造的专用"雕刻刀"

最新研发的MO源材料更成为Micro LED量产的关键催化剂。

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