半导体剂量传感器选择

一、电离室：能量测量的老将

电离室就像半导体界的"能量会计"，通过气体电离原理记录粒子数量：

• 工作原理：带电粒子使惰性气体电离，产生可测量的电流

• 优势：线性度好，适合高能电子束和离子注入

• 局限：响应速度较慢（毫秒级），需定期校准

二、光电二极管的灵敏捕捉

这类传感器是检测光剂量的"快枪手"：

1. 紫外到可见光：监控光刻胶曝光强度

2. 快速响应：微秒级反应速度

3. 集成优势：可直接嵌入晶圆载具实时监测

三、热释电传感器的特殊战场

当需要测量激光或等离子体剂量时：

• 温度感应：通过材料热电效应转换能量

• 适用场景：干法刻蚀、激光退火工艺

• 独特价值：耐高温，可测瞬态能量脉冲

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