硅光光开关工艺流程

深圳市飞翼光电通讯有限公司

2026-07-09 17:03:13

深圳市飞翼光电通讯有限公司

法人:欧涛通过真实性核验

深圳市飞翼光电通讯有限公司，2018年成立于广东省深圳市，主营光纤准直器、光纤跳线等，产品多样，权威可靠。

介绍：

本文详细解析硅光光开关的核心制造流程，从晶圆加工到光纤耦合的完整工序，揭秘光子芯片如何实现光路切换的精密控制，并探讨工艺优化方向。

一、硅光芯片的微纳制造

就像在指甲盖上建造立交桥，硅光光开关的核心是SOI（绝缘体上硅）晶圆加工。通过电子束光刻在220nm硅层雕刻出比头发丝细500倍的光波导，再经过干法刻蚀形成Y型分束器、马赫-曾德尔干涉仪等结构。关键工序包括：

当芯片做好后，真正的挑战才开始——如何让头发丝细的光纤精准对准微米级波导？这需要：

新一代工艺正在突破传统限制：

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