CVD炉底盘设计结构

郑州成越科学仪器有限公司

2026-07-03 22:16:22

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法人:李少梅通过真实性核验

郑州成越科学仪器，2013年成立于郑州高新区，主营镀膜仪、炉类等多种科研设备，经验丰富，专业权威，服务科研多领域。

介绍：

本文探讨CVD炉底盘的设计结构，分析其在化学气相沉积过程中的关键作用，包括材料选择、热传导优化及结构稳定性，为工业应用提供实用参考。

一、CVD炉底盘的核心作用

在化学气相沉积（CVD）工艺中，底盘不仅是承载晶圆的平台，更是热量传导的中枢。就像烧烤架的金属网决定受热均匀度一样，底盘设计直接影响薄膜沉积的均匀性。常见设计采用石墨或碳化硅材质，因其具备：

底盘结构如同精密的热量分配器：

设计者常面临两难选择：

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