白光干涉仪测量三维形貌的实验名称

一、白光干涉仪测量三维形貌的实验名称

白光干涉仪测量三维形貌的实验通常被称为白光干涉显微术（White Light Interferometry, WLI），或者更具体地称为垂直扫描干涉显微术（Vertical Scanning Interferometry, VSI）。这种技术利用白光的宽光谱特性，通过干涉条纹的变化来精确测量物体表面的三维形貌，分辨率可以达到纳米级别。

二、白光干涉显微术的工作原理

1. 干涉原理：白光通过分光镜分成两束，一束照射到被测物体表面，另一束照射到参考镜面。两束光反射后重新结合，形成干涉图案。

2. 垂直扫描：通过精密移动参考镜或被测物体，系统记录不同高度处的干涉信号，从而重建出物体表面的三维形貌。

3. 数据处理：利用算法分析干涉条纹的相位和强度，最终生成高精度的三维形貌图。

三、白光干涉显微术的应用场景

白光干涉显微术广泛应用于微纳加工、半导体检测、生物医学等领域。例如：

• 半导体行业：用于测量芯片表面的薄膜厚度和粗糙度。

• 精密制造：检测光学元件、模具的表面质量。

• 生物医学：研究细胞或组织的微观形貌变化。

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