EUV光源功率与分辨率

深圳市铭星电子有限公司

2026-07-02 00:27:35

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法人:陈梅通过真实性核验

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介绍：

本文解析EUV光源的功率与其分辨率之间的关系，探讨影响分辨率的关键因素，并介绍当前EUV光源的技术特点和应用场景。

一、EUV光源功率与分辨率的关系

EUV（极紫外）光源作为半导体制造中的核心设备，其功率与分辨率之间存在密切关系。一般来说，光源功率越高，能够实现的分辨率也越高。目前主流EUV光源的功率通常在250W左右，足以支持7nm及以下工艺节点的制造需求。

除了功率外，多个因素共同决定了EUV光源的实际分辨率表现：

现代EUV光源采用激光激发等离子体技术，具有独特的技术特点：

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