光刻机不用β射线的秘密

北京长恒荣创科技有限公司

2026-07-01 21:16:41

北京长恒荣创科技有限公司

法人:翟会宾通过深度核验

北京长恒荣创科技有限公司，2010年成立于北京市，主营显微镜、显微镜热台等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文探讨光刻机选择特定光源的原因，解析β射线在光刻技术中的局限性，包括穿透力过强、能量控制困难等问题，并比较当前主流光源的优势。

一、β射线的物理特性限制

β射线本质是高能电子流，具有较强的穿透能力。在光刻工艺中，这种特性反而成为致命缺点：

当前主流光刻机采用紫外线和极紫外光（EUV），因其具有理想特性：

光刻本质是"微米级绘画"，需要平衡多个因素：

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