上海微电子做光刻机吗

深圳市科时达电子科技有限公司

2026-07-01 20:27:30

深圳市科时达电子科技有限公司

法人:廖晓兰通过真实性核验

深圳市科时达电子科技有限公司成立于2021年，坐落于深圳市光明区，专注于半导体及光电设备领域，主营光刻机、镀膜机、晶圆检测仪器等高端设备，产品覆盖半导体制造、光伏检测全流程。公司集研发、销售、技术服务为一体，具备医疗器械及进出口资质，以精密仪器技术和专业解决方案服务于高科技产业。

介绍：

本文解析上海微电子在光刻机领域的技术布局与产品现状，探讨其研发进展与市场定位，并对比国内外技术差异，帮助读者理解国产光刻机的发展现状。

一、国产光刻机的技术突围

当人们讨论光刻机时，往往会先想到国外品牌，但上海微电子早已悄然布局这一领域。作为国内少数具备光刻机研发能力的企业，其600系列光刻机主要用于后道封装和面板制造，分辨率达到90nm级别。虽然与高级设备尚有差距，但已能满足部分中端市场需求。

不同于极紫外光刻技术路线，上海微电子主要深耕深紫外（DUV）领域：

在全球化供应链背景下，国产光刻机正寻找差异化发展路径：

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