国产28nm浸没式光刻机

深圳市科时达电子科技有限公司

2026-07-01 20:27:24

深圳市科时达电子科技有限公司

法人:廖晓兰通过真实性核验

深圳市科时达电子科技有限公司成立于2021年，坐落于深圳市光明区，专注于半导体及光电设备领域，主营光刻机、镀膜机、晶圆检测仪器等高端设备，产品覆盖半导体制造、光伏检测全流程。公司集研发、销售、技术服务为一体，具备医疗器械及进出口资质，以精密仪器技术和专业解决方案服务于高科技产业。

介绍：

本文解析国产28nm浸没式DUV光刻机的实际制程能力，探讨其通过多重曝光技术可实现的芯片最小节点，并分析影响实际生产精度的关键因素，帮助读者客观认识国产设备的真实水平。

一、光刻机标称与实际制程的关系

28nm浸没式DUV光刻机就像高清投影仪，标称分辨率（28nm）不等于最终成像精度。通过以下技术组合，它能突破物理极限：

光刻机如同交响乐团，需要各个环节完美配合：

目前国产28nm设备通过工艺创新可稳定量产14nm芯片，实验室环境下：

未来3年有望通过新型光源（高NA）和AI实时校正系统突破10nm以下量产瓶颈。

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