28纳米以下浸没式光刻机

深圳市科时达电子科技有限公司

2026-07-01 20:27:18

深圳市科时达电子科技有限公司

法人:廖晓兰通过真实性核验

深圳市科时达电子科技有限公司成立于2021年，坐落于深圳市光明区，专注于半导体及光电设备领域，主营光刻机、镀膜机、晶圆检测仪器等高端设备，产品覆盖半导体制造、光伏检测全流程。公司集研发、销售、技术服务为一体，具备医疗器械及进出口资质，以精密仪器技术和专业解决方案服务于高科技产业。

介绍：

本文详细介绍28纳米及更先进制程的浸没式光刻机技术特点与主流设备类型，解析其在半导体制造中的关键作用，并探讨技术发展趋势与应用场景。

一、浸没式光刻技术原理

浸没式光刻机通过在镜头与硅片之间注入高纯度水，利用水的折射率提升分辨率。相较于干式光刻，这种技术可将制程节点推进至28纳米及以下。其核心突破在于：

当前可支持28纳米以下的浸没式光刻系统主要分为：

随着半导体工艺持续微缩，新一代浸没式光刻机正朝三个方向进化：

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