洁净棚测试方法

一、气流均匀性检测

洁净棚的气流组织就像交响乐团的配合，每个角落的风速都要和谐统一。用热球式风速仪在离过滤器15cm处取9点测量：

• 中心点风速建议0.45±0.1m/s

• 四角点风速差异不超过15%

• 工作区风速波动控制在10%以内

特别要注意回风口的吸力平衡，这直接关系到气流的「舞蹈轨迹」是否流畅。

二、粒子浓度监测

用激光粒子计数器玩「微观世界捉迷藏」，重点监测三类粒径：

1. 0.3μm粒子：每立方英尺不超过10万颗

2. 0.5μm粒子：每立方英尺不超过1万颗

3. 5μm粒子：每立方英尺不超过700颗

测试时要模拟「最坏情况」——在设备全开、人员走动状态下采样，就像给洁净棚做「压力测试」。

三、压差稳定性验证

洁净棚的「呼吸节奏」要稳定，相邻区域压差需保持：

• 主工作区＞缓冲间＞外界（5Pa梯度）

• 1小时波动不超过±1Pa

• 开关门后3分钟内恢复

用微压差计连续记录24小时数据，观察是否出现「哮喘式」的异常波动。

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