氧化铝衬底r-cut可行性

淄博中泽新材料科技有限公司

2026-06-27 01:50:08

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法人:贾佳通过真实性核验

淄博中泽新材料科技有限公司，2018年成立于湖北省武汉市，主营陶瓷片、焊接衬砖等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文探讨氧化铝衬底实现r-cut工艺的技术可能性，分析其晶体结构适配性、加工难点及典型应用场景，为精密器件制造提供材料选择参考。

一、r-cut工艺的本质需求

r-cut是晶圆加工中特定角度的切割方式，就像切钻石要考虑晶向一样。氧化铝衬底要实现r-cut，关键在于其六方晶系结构能否沿(01-12)晶面精准分离。实验显示：

相比硅衬底，氧化铝的莫氏硬度达到9级（仅次于钻石），这带来两大难题：

目前行业采用激光辅助切割，能将加工效率提升40%。

当需要以下特性时，氧化铝r-cut衬底显现优势：

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