探针卡和探针台区别
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英铂科学仪器(上海)有限公司,2016年成立于上海松江区,专营多种探针台,服务半导体等多领域,专业权威,经验丰富。
导读:
本文解析探针卡与探针台在半导体测试中的不同角色与功能:探针卡是芯片接触媒介,探针台提供测试平台,二者协同完成晶圆级电性能检测。
一、角色定位差异
探针卡和探针台就像手术刀与手术室的区别:
- 探针卡:精密"手术刀",直接接触芯片焊盘进行信号传输,内含数百根探针阵列,需根据芯片设计定制
- 探针台:智能"手术室",承载晶圆并实现三维定位,具备温度控制、光学对准等功能,适配不同尺寸晶圆测试
二、技术特性对比
二者在半导体测试中展现不同技术特点:
- 精度要求:探针卡探针间距可达40μm,而探针台定位精度需控制在±1μm内
- 适配性:探针卡需随芯片迭代更换,探针台可兼容多代探针卡
- 维护成本:探针卡属于耗材(寿命约50万次接触),探针台是长期设备
三、协同工作逻辑
二者配合如同CD机与光盘:
- 探针台将晶圆移动到测试位置后,探针卡下压建立电路连接
- 测试信号通过探针卡传输至测试机,同时探针台监控环境参数
- 完成测试后探针卡抬起,探针台自动切换下一个测试点位
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