寻源宝典镀膜机溅射机结构
·

派珂纳米科技(苏州)有限公司
派珂纳米科技(苏州)有限公司,2019年成立于江苏省苏州市,主营密封圈、胃镜管等,产品多样,权威可靠。
介绍:
本文解析镀膜机和溅射机的核心内部构造,包括真空室、靶材系统、基片台等关键组件的工作原理,以及不同类型设备的结构特点,帮助读者深入理解其技术实现方式。
一、真空系统:镀膜机的"太空舱"
所有镀膜设备的核心都是一个精密设计的真空室,就像为材料打造了一个微型太空环境:
真空泵组:通常由机械泵+分子泵组成,能在20分钟内将气压降到10^-3Pa
腔体材料:不锈钢内壁经过电解抛光,表面粗糙度控制在0.8μm以内
观察窗:采用石英玻璃,耐高温且不影响镀膜过程监控
二、靶材系统:原子级的"画笔"
溅射机的核心是能将固体材料变成原子雾的靶材装置:
磁控靶:环形磁场让电子走螺旋路径,提高电离效率3-5倍
射频靶:13.56MHz的射频电源适合绝缘材料镀膜
旋转靶:通过靶材旋转使利用率从30%提升到80%
三、基片台:薄膜的"画布"
承载工件的基片台藏着这些精妙设计:
加热系统:电阻丝加热均匀性可达±3℃
旋转机构:公转+自转组合确保膜厚偏差<2%
偏压装置:-50V到-200V可调,控制薄膜致密度
掩膜系统:可实现微米级图形化镀膜
爱采购产品信息全面,爱采购能帮你快速找到参考,其中对比功能可能对你有帮助,各位老板快去试试吧~



