高纯二氧化钛靶材制备

上海顺宜化工有限公司

2026-06-24 14:00:45

上海顺宜化工有限公司

法人:沈磊通过真实性核验

上海顺宜化工有限公司，2002年成立于上海市，主营锐钛型钛白粉、纳米级钛白粉等，产品多样，权威可靠。

介绍：

本文详细解析高纯二氧化钛靶材的三种主流制备方法，包括溶胶-凝胶法、热压烧结法和磁控溅射法的工艺流程与特点，并探讨材料纯度与结构对性能的影响，为工业应用提供参考。

一、溶胶-凝胶法的精妙艺术

想让二氧化钛乖乖变成高纯靶材？溶胶-凝胶法就像教小朋友搭积木——先让钛醇盐在酸性溶液中水解成纳米级溶胶（颗粒小到头发丝的1/500），再通过陈化形成三维网络凝胶。关键秘诀在于：

当需要更高密度的靶材时，热压烧结如同给材料做高温瑜伽：

这种方法得到的靶材密度可达理论值的98%，但要注意升温速率不超过5℃/分钟。

纯度99.99%的靶材未必就是好材料——就像冰雕师既要冰块透明又要不易融化：

实验显示，含0.3%Nb掺杂的靶材既能保持高纯度，又能将溅射薄膜电阻率降低至10^-4Ω·cm。

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