半导体OHT是什么

上海锦町新材料科技有限公司

2026-06-07 02:45:23

上海锦町新材料科技有限公司

法人:宋维磊通过主体资质核查

上海锦町新材料，2012年成立于上海闵行，主营多种合金铜等金属材料，专业权威，经验丰富，服务多领域，可进出口。

介绍：

本文解析半导体制造中的OHT（空中悬挂运输系统），包括其定义、工作原理及在晶圆厂中的实际应用场景，帮助读者快速理解这一自动化物流技术的核心价值。

一、OHT的工业定义

OHT（Overhead Hoist Transport）是半导体工厂的"空中快递员"，专为晶圆等敏感物料设计。它由悬挂轨道、智能小车和控制系统组成，能在无尘室顶部快速搬运晶圆盒，避免人工接触污染。运输速度可达2-3m/s，定位精度控制在±1mm内，像手术机器人般精准高效。

这套自动化物流系统的智慧体现在：

OHT正在重塑半导体制造流程：

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