高均匀钽靶坯制备法
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北京瑞弛高科技有限公司
北京瑞弛高科,2016年成立于北京房山区,专业供应镍铬等多种合金靶材,技术领先,经验丰富,权威可靠。
介绍:
本文介绍一种优化钽靶坯组织织构均匀性的制备方法,通过材料选择、加工工艺和热处理三方面详细解析,提升钽靶坯在工业应用中的性能表现。
一、材料选择的关键
钽靶坯的均匀性始于原材料把控。纯度99.95%以上的钽粉是基础,其中氧含量需控制在100ppm以内。粉末粒径分布以D50=45μm为理想值,过细易团聚,过粗影响致密度。采用等离子旋转电极雾化法制备的球形粉末流动性较好,填充密度可提升8%。
二、冷等静压成型工艺
成型阶段采用200MPa冷等静压,保压30分钟。压力梯度控制在5%以内,确保坯体各向受力均匀。模具内壁需涂覆氮化硼润滑剂,减少摩擦导致的密度差异。压坯相对密度达75%时,后续烧结收缩率更可控。
三、梯度热处理技术
烧结采用三阶段控温:先以10℃/min升至1200℃除气,再以5℃/min升至1800℃保温4小时,最后以2℃/min缓冷至800℃。关键是在1500℃以上引入双向电磁场,通过洛伦兹力促使晶粒定向排列,织构均匀性提升30%。
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