双束聚焦离子束扫描显微镜

一、纳米级加工与成像的精密工具

双束聚焦离子束扫描显微镜（FIB-SEM）如同科研界的‘纳米手术刀+显微镜’组合。它同时具备离子束刻蚀和电子束成像功能：

• 离子束系统：用镓离子精准切削材料，最小加工精度达5纳米

• 电子束系统：同步生成高清显微图像，分辨率优于1纳米

• 协同工作：一边切割一边观察，实现‘所见即所得’的微观改造

二、三大核心应用场景

1. 芯片故障分析：可逐层剥离芯片结构，定位晶体管级缺陷

2. 材料科学研究：制备超薄样品切片，观察晶体内部原子排列

3. 生物样本制备：对细胞组织进行三维重构，保留原始形貌特征

三、与传统电镜的关键差异

相比普通扫描电镜（SEM），FIB-SEM的独特优势在于：

• 加工能力：直接修改样品而非仅观察

• 三维重构：通过层析成像构建3D模型

• 原位实验：在真空腔内完成制备-观测全流程

• 多模态分析：搭配能谱仪可同步获取成分信息

爱采购从参数比对到价格分析，各项功能贴心又实用，助您省时省力。各位老板，赶快登录爱采购，发现采购新体验！