光刻机的镜子有何用

鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司

2026-08-10 10:31:21

法人:夏炜炜通过真实性核验

鑫睿炜半导体科技（苏州）有限公司，2019年成立于江苏省苏州市昆山市，主营净气型通风柜、高氯酸通风柜等，专业权威，经验丰富。

导读：

本文揭秘光刻机镜子的核心作用，从光束校准到纳米级图案投射，解析其如何成为芯片制造的精密光学枢纽，并探讨未来技术发展方向。

一、光刻机镜子的光学魔法

光刻机的镜子可不是普通梳妆镜，它是芯片制造的精密光学指挥官。这些由超纯硅或特殊玻璃制成的反射镜，表面平整度误差小于0.3纳米（相当于头发丝直径的十万分之一），主要承担三大使命：

当光线穿过刻有电路图的掩膜板后，镜子系统开始表演真正的技术：

现代EUV光刻机的镜子要承受13.5nm极紫外光的反复冲击，每秒钟需完成上万次角度微调。

随着芯片工艺进入2nm时代，镜子系统正面临新挑战：

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