激光切割单晶石英玻璃方法

天津睿泰国际贸易有限公司

2026-07-06 13:50:09

天津睿泰国际贸易有限公司

法人:张乐博通过真实性核验

天津睿泰国际贸易有限公司，2019年成立于天津市，主营石英玻璃方、石英玻璃圆片等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文详细介绍激光切割单晶石英玻璃的三种主流技术方案，包括CO2激光、紫外激光和飞秒激光的工作原理及适用场景，并分析选择切割方式时需考虑的材料特性和精度需求。

一、CO2激光的热加工方案

10.6μm波长的CO2激光器是切割单晶石英玻璃的传统选择，原理是通过热效应使材料局部气化。这种方式适合3mm以上厚度的切割，切割速度可达20mm/s，但热影响区较明显（约200μm），边缘可能产生微裂纹。操作时需配合辅助气体（如氮气）吹扫熔渣。

355nm紫外激光采用光化学作用直接破坏材料分子键，实现"冷切割"。这种方案热影响区小于50μm，特别适合0.1-2mm薄片的高精度加工，最小切缝能达到15μm。但设备成本较高，切割速度相对较慢（约5mm/s），需要严格控制脉冲能量和重复频率。

飞秒激光脉冲宽度极短（10^-15秒），通过多光子吸收效应实现非热熔性加工。这种技术能获得近乎无热影响的切割面，粗糙度可控制在0.5μm以内，适合光学器件等对表面质量要求高的场景。不过设备投入大，加工效率较低（约1mm/s），需配合精密运动平台使用。

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