EUV光源>500W中国何时造

上海秀白信息科技有限公司

2026-05-21 17:50:04

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法人:王天一通过真实性核验

上海秀白信息科技有限公司，2017年成立于上海市，主营太阳光模拟器等，产品多样，权威可靠。

介绍：

本文探讨中国研发超过500W功率的EUV光源的现状与未来时间表，分析技术突破的关键节点与行业进展，为关注半导体设备国产化的读者提供客观参考。

一、当前技术发展现状

EUV光源作为芯片制造的核心设备，500W以上功率是7nm以下制程的硬指标。目前国内已实现40W级光源实验室验证，而工业级应用需要突破三大关卡：等离子体稳定性、收集镜寿命、功率转换效率。2023年公开论文显示，某科研团队在锡液滴靶材技术上取得突破，为功率提升奠定基础。

2025年前可能完成关键子系统验证，但整机集成需要更长时间。

参照国外同类技术发展轨迹，结合国内研发投入强度，预计：

注意这取决于材料、精密加工等基础工业的整体进步速度。

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