半导体KS设备盘点

广东可易亚半导体科技有限公司

2026-05-14 08:21:51

法人:赵喜高通过真实性核验

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导读：

本文系统梳理半导体行业关键制程（KS）设备，涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积三大类核心设备，解析其功能特点及在芯片制造中的关键作用。

一、光刻类KS设备

光刻机是半导体制造的"画笔"，通过光学投影将电路图案转移到硅片上。主流设备包含：

刻蚀设备如同微观雕刻刀，精准去除特定区域的材料。主要分为：

这类设备负责构建芯片的"楼层"，常见类型包括：

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