EUV光刻的奥秘

深圳市科时达电子科技有限公司

2026-05-01 03:37:14

深圳市科时达电子科技有限公司

法人:廖晓兰通过真实性核验

深圳市科时达电子科技有限公司成立于2021年，坐落于深圳市光明区，专注于半导体及光电设备领域，主营光刻机、镀膜机、晶圆检测仪器等高端设备，产品覆盖半导体制造、光伏检测全流程。公司集研发、销售、技术服务为一体，具备医疗器械及进出口资质，以精密仪器技术和专业解决方案服务于高科技产业。

介绍：

本文揭秘蔡司在极紫外光刻（EUV）技术中的关键作用，解析EUV如何突破传统光刻极限，以及其在半导体制造中的革命性影响，带您了解这项改变芯片行业的先进科技。

一、EUV光刻为何特别

传统光刻技术已接近物理极限，而极紫外光刻（EUV）使用13.5纳米波长的光，比传统193纳米光刻精细14倍。这项技术的突破关键在于：

光学系统是EUV设备的核心，蔡司在此领域贡献了多项关键技术：

EUV技术正在重塑半导体行业：

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