ALD半导体解密

广东可易亚半导体科技有限公司

2026-04-29 04:54:14

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法人:赵喜高通过真实性核验

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介绍：

本文深入浅出地解释ALD半导体技术的基本概念、核心优势及其在工业领域的应用场景，帮助读者快速理解这一精密制造工艺的关键价值。

一、什么是ALD半导体技术

原子层沉积（Atomic Layer Deposition）就像给芯片穿纳米级‘雨衣’的工艺：通过交替通入不同气态前驱体，在基底表面逐层构建原子级均匀薄膜。这种技术能精准控制薄膜厚度（误差小于1纳米），特别适合制造3D NAND闪存中的高深宽比结构，以及7nm以下制程的逻辑芯片栅极层。

在光伏行业，ALD氧化铝薄膜是PERC电池的核心钝化层；在MEMS传感器制造中，ALD氮化硅薄膜用作生物兼容性封装；而汽车电子领域则利用ALD三氧化二铝薄膜提升功率器件的绝缘性能。随着芯片制程持续微缩，ALD技术正成为半导体制造的基石工艺之一。

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