半导体气路拆解指南

一、拆前准备：安全与效率并行

拆解半导体气路系统就像给精密仪器做手术，术前准备决定成败：

1. 气体置换：用惰性气体吹扫管道，确保无残留危险气体

2. 工具清点：防静电手套、无尘布、专用扳手缺一不可

3. 图纸确认：比对设备气路图，标出所有连接节点

4. 环境控制：洁净室需维持百级洁净度，湿度低于45%

二、标记艺术：给管道办身份证

混乱是拆机的大敌，这套标记系统能让你事半功倍：

1. 彩色标签法：不同气体用不同颜色标签（如黄色标氮气）

2. 双编号系统：管道两端贴相同编号贴纸

3. 拍照存档：用高清相机记录拆卸前原始走线

4. 特殊警示：氧气管道需单独标记禁油标志

三、分步拆卸：像拆乐高一样有序

掌握这个拆卸顺序能让效率翻倍：

1. 先电后气：断开所有电气连接再动管道

2. 从外到内：先拆外部支路再处理主管道

3. 对角松动：法兰螺栓按对角线顺序逐步松开

4. 密封处理：所有接口立即用盲板封堵防污染

5. 分段存放：拆下管道用防尘袋分装并标注位置

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