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真空规科普：PG、FPG、CG
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东莞市晋旭机电设备有限公司
东莞市晋旭机电设备有限公司，2013年成立于广东省东莞市，主营双极泵、真空计等，产品多样，权威可靠。
介绍：
本文解析半导体设备中常见的PG、FPG、CG真空规，介绍它们的工作原理、应用场景及区别，帮助读者快速理解这些关键测量工具在半导体制造中的作用。
一、PG真空规：基础压强测量专家
PG（Pirani Gauge）真空规是半导体设备中最常见的真空测量工具之一，利用气体热导率随压强变化的特性工作。当气压降低时，气体分子减少，热传导能力下降，通过测量加热元件的温度变化即可推算出真空度。PG规适用于中低真空范围（1Pa至0.1Pa），结构简单且响应迅速，是机台腔体基础气压监测的理想选择。
二、FPG真空规：高精度升级版
FPG（Fine Pirani Gauge）在PG基础上进行了三项优化：
温度补偿：内置参考传感器消除环境温度干扰
材料升级：采用特殊合金丝提高热稳定性
算法改进：通过数字信号处理提升读数精度
这种规量程可延伸至10^-2Pa，常用于需要更高测量精度的薄膜沉积和刻蚀设备。
三、CG真空规：特殊场景解决方案
CG（Capacitance Gauge）采用完全不同原理，通过测量两个金属薄膜电极间的电容变化来检测气压。其特点包括：
全金属结构耐腐蚀，适合腐蚀性气体环境
测量结果不受气体种类影响
量程覆盖广（大气压至10^-4Pa）
在离子注入等特殊工艺中表现突出，但成本较高且响应速度稍慢。
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