半导体用PEEK塑料指南

一、PEEK为何受半导体青睐

这种淡黄色塑料堪称半导体界的‘特种兵’，能在260℃高温下保持稳定，抵抗强酸强碱腐蚀。其绝缘性能比普通塑料高10倍以上，加工时几乎不产生粉尘，完美适配无尘车间的生产环境。

二、三类核心应用产品

1. 晶圆处理载具：

   • 晶圆传输机械手

   • 工艺托盘

   • FOUP框架组件

2. 高绝缘部件：

   • 等离子体设备绝缘环

   • 真空腔体衬套

   • 射频发生器支架

3. 精密密封元件：

   • 阀门密封圈

   • 真空泵涡旋片

   • 气体输送系统接头

三、选材的三大考量点

• 热变形温度：短期耐受300℃热冲击

• 介电强度：40kV/mm的绝缘保障

• 纯度等级：金属杂质含量小于1ppm

• 尺寸稳定性：吸水率仅0.5%，避免湿度变形

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