晶圆直径测量神器

一、激光扫描仪：非接触式高精度

激光扫描仪像给晶圆做CT扫描：

• 原理：激光束扫描边缘，通过反射时间差计算直径

• 精度：可达±0.1μm，适合300mm大晶圆

• 优势：不接触表面，避免划伤风险

• 局限：对镜面反射晶圆需特殊处理

二、光学显微镜：微观视野之星

当需要兼顾表面观测时：

1. 双远心光学系统：消除视差，精度±1μm

2. 图像分析：自动识别边缘像素点

3. 多任务模式：同步检测划痕和颗粒

4. 适用场景：研发和小批量检测

三、接触式测径仪：老牌劲旅

机械臂带千分尺的经典组合：

• 探针式：三点接触测量，重复精度±0.5μm

• 卡尺式：适合快速抽检，但压力可能影响结果

• 温度补偿：消除金属热胀冷缩误差

• 维护要点：定期校准探针磨损

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