DUV与EUV光刻机解密

上海炜泰贸易有限公司

2026-04-23 11:41:38

上海炜泰贸易有限公司

法人:王炜通过真实性核验

上海炜泰贸易有限公司，2014年成立于上海市，主营光刻机等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文解析DUV与EUV光刻机的核心差异，从工作原理到应用场景，带您了解半导体制造领域这两大关键设备的特性与界限，掌握芯片制造背后的光学密码。

一、光源波长决定技术代差

DUV（深紫外）与EUV（极紫外）最直观的区别就像手电筒与激光笔的差异：

EUV光刻机是现有最复杂的工业设备之一：

两种设备在芯片制造中扮演不同角色：

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