SEM喷金后样品台清洗指南

一、工具准备与预处理

清洗喷金后的样品台需要准备以下物品：

• 无尘擦拭纸或超细纤维布

• 分析纯级丙酮或乙醇

• 软毛刷或气吹球

• 防静电手套

操作前需关闭SEM电源，待样品台冷却至室温。佩戴手套避免直接接触台面，防止油脂污染。

二、分步清洗操作流程

1. 初步除尘：用气吹球吹走表面金颗粒

2. 溶剂擦拭：用蘸取溶剂的擦拭纸单向轻擦（不可打圈）

3. 深度清洁：顽固残留可用软毛刷蘸溶剂轻柔刷洗

4. 二次除尘：再次使用气吹球清除碎屑

三、注意事项与维护建议

• 避免使用金属工具刮擦，防止损伤导电涂层

• 丙酮用量不宜过多，防止渗入机械部件

• 每月定期清洁可减少金层堆积

• 清洗后需静置10分钟确保溶剂完全挥发

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