SEM合轴调整指南

一、SEM合轴调整前的准备

在进行SEM合轴调整前，确保设备处于稳定状态是关键。首先，检查电子束是否对准中心，确认样品台水平。其次，清洁镜筒和样品室，避免灰尘影响成像质量。最后，预热设备至少30分钟，确保电子光学系统稳定。

二、SEM合轴调整步骤

1. 粗调电子束对中：使用低倍率观察样品，调整电子束对中旋钮，使图像居中。
2. 细调合轴：切换到高倍率，微调合轴旋钮，直到图像清晰无畸变。
3. 检查像散：通过观察图像的边缘是否清晰，进一步调整像散校正旋钮。

三、SEM合轴调整注意事项

合轴调整过程中，避免频繁切换倍率，以免影响调整效果。同时，注意电子束电流的稳定性，过高或过低的电流都会导致成像模糊。调整完成后，建议保存参数，方便下次使用。

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