光刻掩膜版材料与分类

西安和潮新材料科技有限公司

2026-03-13 20:14:18

西安和潮新材料科技有限公司

法人:许青青

西安和潮新材料科技，2018年成立于陕西西安航空产业基地，专营GRG装饰材料，技术权威，经验丰富，把控质量工期。

介绍：

本文揭秘光刻掩膜版制造的核心材料与主流分类方式，从石英基底到铬镀层，从二元掩膜到相移掩膜，带你了解芯片制造背后的关键模板技术。

一、光刻掩膜版的材料密码

制造光刻掩膜版就像制作精密相片的底片，需要特殊材料组合：

根据工作原理可分为：

不同材料组合造就了掩膜特性差异：

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