FIB如何测晶粒尺寸

成都世纪美扬科技有限公司

2026-03-12 20:55:36

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法人:王超通过真实性核验

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介绍：

本文介绍聚焦离子束显微镜（FIB）测量晶粒尺寸的原理与方法，包括样品制备、成像分析和数据处理三个关键步骤，帮助读者理解这一微观结构表征技术。

一、FIB技术基本原理

聚焦离子束显微镜（FIB）就像纳米级雕刻刀，用镓离子束在材料表面精准切削。测量晶粒尺寸时，离子束会逐层剥离样品表面，同时用电子束成像，形成清晰的晶界轮廓。这种双束系统能实现10纳米级分辨率的立体观测，特别适合多晶材料的微观结构分析。

获得FIB图像后，可用图像处理软件自动识别晶界：

注意避免离子束损伤导致的测量误差，低剂量模式能更好保留真实晶界形貌。

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