寻源宝典薄膜XRD测试模式指南
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成都世纪美扬科技有限公司
成都世纪美扬科技有限公司位于四川省成都市武侯区，专注提供球差TEM、AFM测试、FIB等精密分析检测服务，覆盖材料科学、生物医药等领域。自2016年成立以来，依托"测试狗"平台整合全球顶尖科研资源，专业提供仪器共享、实验外包及数据分析服务，技术权威，经验丰富。
介绍：
本文解析薄膜样品X射线衍射测试的三种核心模式，包括常规θ-2θ扫描、掠入射和面内衍射的适用场景与操作要点，帮助科研人员根据样品特性选择合适方法。
一、θ-2θ扫描：基础标配模式
就像给薄膜拍‘标准证件照’，θ-2θ扫描是最常用的对称衍射模式。X射线以固定角度入射，探测器同步转动接收信号，适合厚度超过100nm的薄膜或需要快速筛查结晶相的情况。注意样品台需保持水平，测试时建议设置0.02°步长以获得清晰峰形。
二、掠入射XRD：表面探测利器
当薄膜薄得像蝉翼（<50nm）时，需要开启‘微距模式’——掠入射衍射。X射线以0.5°-5°小角度擦过表面，通过降低穿透深度增强表面信号灵敏度。这种模式能避免基底干扰，特别适合超薄多层膜或表面改性层分析，但需精细调节入射角避免信号过弱。
三、面内衍射：晶格取向侦探
想了解薄膜‘躺平’时的晶体结构？面内衍射让X射线平行样品表面入射，专门检测平行基底的晶面信息。搭配二维探测器使用效果更佳，是研究外延生长取向、纳米线排列的必备手段，测试时需配合样品旋转台获取完整衍射环。
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