真空电镀操作指南

一、开机前的准备工作

就像烘焙前要预热烤箱一样，真空电镀也需要精心准备：

1. 环境检查：确保操作间湿度低于60%，温度维持在20-25℃

2. 靶材安装：用无尘布清洁靶座，将靶材放入时注意正负极对齐

3. 工件处理：先进行超声波清洗，再用离子风枪吹净表面尘埃

二、镀膜工艺全流程

这个阶段就像给手机贴膜，只不过是在微观世界里：

1. 抽真空阶段：先开机械泵抽至10Pa，再启动分子泵达到0.001Pa

2. 预溅射环节：低功率运行5分钟，清除靶材表面氧化层

3. 正式镀膜：根据材料调节电流，铝靶通常控制在5-8A范围

三、日常维护小贴士

设备也需要"护肤保养"才能保持状态：

• 每周检查扩散泵油位，发黑立即更换

• 每月清理真空室，用酒精棉擦拭观察窗

• 每季度校准膜厚仪，确保测量准确

• 异常响声立即停机，可能是机械泵缺油

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