键合机冷启动指南

一、预热准备不可少

冷启动时设备就像冬眠初醒的熊，需要逐步唤醒：

1. 环境检查：确认温度保持在20-25℃，湿度低于60%

2. 电源稳定：建议使用稳压器，电压波动需控制在±5%以内

3. 气源准备：检查氮气纯度≥99.99%，压力稳定在0.5-0.7MPa

二、系统校准是关键

精准度决定键合质量：

• 视觉校准：先用标准样板校正CCD对位系统

• 压力校准：空载测试压力传感器，误差需小于0.1N

• 温度校准：加热台需从室温逐步升至工作温度，梯度不超过10℃/min

三、工艺参数设置

不同材料需要个性化方案：

1. 金线键合：建议起始参数120℃/80mN/20ms

2. 铜线键合：需要更高能量150℃/100mN/15ms

3. 铝线键合：注意控制氧化，推荐90℃/60mN/25ms

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