AF镀膜机操作指南

一、设备准备要点

操作AF镀膜机前需做好充分准备：

1. 检查真空泵油位是否在刻度线范围内

2. 确认腔体清洁无残留物

3. 校准膜厚监控仪零点

4. 预热电子枪至工作温度

二、镀膜过程控制

镀膜过程中需特别注意：

1. 保持真空度稳定在5×10⁻³Pa以上

2. 控制蒸发速率在0.5-1.5nm/s范围内

3. 实时监控基板温度不超过80℃

4. 观察膜层颜色变化判断厚度

三、日常维护建议

延长设备寿命的关键措施：

1. 每周清洁电子枪组件

2. 每月更换扩散泵油

3. 每季度校准膜厚仪

4. 及时清理腔体内壁沉积物

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