VCSEL制造工艺揭秘

深圳市恒天翊电子有限公司

2026-03-11 14:41:33

深圳市恒天翊电子有限公司

法人:陈茂

深圳市恒天翊电子有限公司，2011年成立于广东省深圳市，主营线路板加工、后焊插件线路板等，专业权威，经验丰富。

介绍：

本文深入解析VCSEL（垂直腔面发射激光器）的核心制造工艺，从外延生长到芯片加工，再到性能测试，带你了解这种微型激光器背后的精密生产技术。

一、VCSEL的独特结构

VCSEL之所以能成为3D传感和光通信的明星器件，全凭它垂直发射的独特设计。与传统的边发射激光器不同，VCSEL的激光垂直于芯片表面发射，这种结构带来了三大优势：

VCSEL性能的优劣，80%取决于外延生长这个关键步骤。在超高真空的MOCVD设备中，工程师们要像搭积木一样精确堆叠数百层半导体材料：

把外延片变成可用的VCSEL芯片，需要经历一系列微纳加工工序：

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